记者从湖北省科技厅获悉，近日，武汉格蓝若精密技术有限公司成功研发面向高端IC装备的真空/大气环境兼容型运控减振协同控制系统，技术成熟度达到工程化阶段，核心产品振动抑制率、运动定位精度等关键指标达到国际领先水平，填补国内相关领域技术空白。

这个系统针对高端IC装备迈向先进制程中面临的“精度失稳、振动难抑、环境适应性差”三大核心挑战，突破传统运动控制、主动减振、真空环境管理子系统由不同供应商提供、耦合性差的孤立设计瓶颈，首创运控减振一体化协同架构。通过自主研发的协同控制算法，系统可实现运动精度与振动抑制的动态平衡与实时补偿，既具备纳米级定位分辨率，又能保障高加速度下的轨迹跟踪精度；抑振频带覆盖亚赫兹至数百赫兹全范围，依托智能前馈与自适应技术实现“未振先抑”，振动衰减能力提升一个数量级，且率先完成真空环境兼容的精密主动减振产品工程化应用。

作为湖北高端装备制造领域的重大创新成果，这一系统可广泛应用于半导体设备、精密仪器、精密加工、航空航天等战略领域，打破国外在高端IC装备运控减振一体化技术的长期垄断，助力湖北在半导体精密装备新赛道构建核心竞争力，推动我国高端装备制造产业向高端化、自主化升级。（记者 余惠玲 通讯员 姜胜来）